標(biāo)題：被測(cè)物體表面的高度分布表面的三維形貌
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作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2018-7-13 23:18:42
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正文:
被測(cè)物體表面的高度分布表面的三維形貌
通過線陣CCD相機(jī)采集玻璃表面云紋圖像，利用差影法和數(shù)字相移技術(shù)
對(duì)云紋圖像進(jìn)行處理，可實(shí)現(xiàn)全部缺陷的檢測(cè)，玻璃缺陷檢測(cè)精度為0．5 m
m。
光柵投影法的研究概述
光柵投影的三維形貌測(cè)量方法
當(dāng)前，光柵投影法主要用于三維形貌的測(cè)量，其測(cè)量原理為：將光柵分
別投影到參考平面和被測(cè)物體表面，投影到參考平面上的參考光柵不會(huì)發(fā)生
變形；當(dāng)光柵被投射到待測(cè)物體表面時(shí)，由于投影光柵受被測(cè)物體表面高度
的調(diào)制，光柵會(huì)產(chǎn)生不同程度的變形，待測(cè)物體的高度不同，光柵的變形程
度不同。因此，二維平面上的變形云紋攜帶有待測(cè)物體表面的j維形貌信息
，采用CCD相機(jī)采集變形云紋，并對(duì)采集得到的云紋圖像進(jìn)行處理，可以求
得物體表面的相位分布，并可根據(jù)幾何關(guān)系計(jì)算出被測(cè)物體表面的高度分布
，重構(gòu)出物體表面的三維形貌。
基于光柵投影的i維測(cè)量系統(tǒng)一般由投影光柵、CCD攝像機(jī)、圖像采集卡
、計(jì)算機(jī)等構(gòu)成。典型的測(cè)量系統(tǒng)根據(jù)成像設(shè)備和投影設(shè)備的空問位置的不
同，可分為交叉光軸和平行光軸兩種。平行光軸結(jié)構(gòu)可以減小參考平面上的
投影光柵的變形，但測(cè)量范嗣受限于投影光場(chǎng)和成像光場(chǎng)的重疊部分，并且
難于調(diào)整，測(cè)量范圍有限，較少使用；交叉光軸結(jié)構(gòu)可以獲得較大的有效測(cè)
量場(chǎng)，但由于光柵偏置，參考面上的云紋分布不均勻，相位呈非線性分布
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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