標(biāo)題：刻蝕時(shí)間烘溫度、粘附力測(cè)量顯微鏡
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2018-10-1 23:18:58
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正文:
一般來(lái)說(shuō)后烘會(huì)引起抗蝕劑一定量的收縮，在抗蝕荊和掩膜層的界面
尤為嚴(yán)重。這種收縮使抗蝕劑內(nèi)部產(chǎn)生應(yīng)力，引起抗蝕荊破碎、裂紋、脆
裂等現(xiàn)象，使其抗蝕性能下降，鉆蝕現(xiàn)象嚴(yán)重。因此建議后烘溫度一般應(yīng)
低于120℃，這樣可避免后烘產(chǎn)生的不利影響。實(shí)驗(yàn)證明在90℃條件下后烘
，抗蝕劑仍然很穩(wěn)定，抗蝕挫也很好。經(jīng)過(guò)太量的試驗(yàn)已經(jīng)確認(rèn)正性抗蝕
劑的典型收縮溫度在110℃左右，這一溫度正好略低于抗蝕劑發(fā)生熱流動(dòng)的
溫度。當(dāng)后烘溫度超過(guò)125-130℃，抗蝕劑的脆裂、熱流動(dòng)和化學(xué)反應(yīng)等問(wèn)
題攪和在一起，給刻蝕后的去膠帶來(lái)了困難。5．8抗蝕性能的測(cè)量
本節(jié)主要討論影響抗蝕劑與襯底之間粘附力的幾個(gè)關(guān)鍵因素。后烘是
改善抗蝕劑與襯底粘附力的方法之一。后烘要考慮的第一個(gè)問(wèn)題是后烘溫
度與抗蝕性能之間的關(guān)系，用一張簡(jiǎn)單的圖表可以表示后烘溫度和常用的
刻蝕劑的抗蝕性能之間的關(guān)系，對(duì)予鉻和其他掩膜材料來(lái)說(shuō)這種關(guān)系可作
為一種示范。樣品的后烘溫度在90～180∞之間，然后將樣品置于鉻或者氧
化鐵的腐蝕液中，或者放在帶有某種刻蝕氣體的等離子休中，刻蝕時(shí)間與
常用的瓣蝕時(shí)間相同0然后測(cè)量抗蝕劑的厚度損失，采用這種方法，羲俯可
以決定采用怎樣的后烘條件以獲得最佳的抗蝕性能。 ’ ：
后烘要考慮的第二個(gè)間題是后烘溫度和掩膜層與抗蝕劑間的。結(jié)合力
之聞的關(guān)系。選擇樣品的后烘溫度為90--'160℃，在濕法或者干法刻蝕中
的刻蝕時(shí)間相同，然后測(cè)量線寬，獲得后烘溫度與粘附力函數(shù)的關(guān)系，從
而得到最佳條件。應(yīng)該看到，鉆蝕情況與后烘溫度、粘附力有著直接的關(guān)
系。開始時(shí)，粘附力隨溫度增‘加而增加
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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