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正文:

最早的掃描探針顯微鏡儀器是STM，其設(shè)計的概念早在1979年由IBM公司的Binnig和Rohrer提出，并在1982年付之實現(xiàn)，其原理是利用探針與導(dǎo)體間的穿隧電流來做呈像訊號，利用這儀器可在一般空氣中得到原子級的解析度，此發(fā)明亦打開了樣本表面原子排列研究之門，他們兩人也因為此貢獻(xiàn)得到了1986年的諾貝爾物理獎。由于STM應(yīng)用的是穿隧電流，所以樣本必須是導(dǎo)體才能為
功。
其后為免除樣本僅止于導(dǎo)體的限制，1985年Binnig, Quate 和Gerber發(fā)明了AFM，其原理是利用一極柔軟懸稈上探針與試片之間微小的原子力 --- van derWaals力(約為數(shù)個nN左右)做呈像訊號，遂使非導(dǎo)體也可用掃描式探針顯微鏡來觀測。此舉非但大大的減少樣本觀測前的處理，并可于液相中直接觀測微觀的樣本，進(jìn)而亦可用于生物樣本上的觀察(1)。此類的發(fā)明瓶頸大開，之后更有利用不同電性、磁性的探針以偵測樣本表面電力或磁性變化的掃描探針顯微鏡被開發(fā)，一再促進(jìn)了掃描探針顯微鏡在表面量測上史無前例的應(yīng)用性。

自1990年后電腦運算與控制技術(shù)的提升，掃描探針顯微鏡更具有了原子操縱術(shù)、奈米
級的微影蝕刻術(shù)與奈米結(jié)構(gòu)製作等功能，豪邁開闊了掃描探針顯微鏡應(yīng)用的范圍。

呈像原理
掃描探針顯微鏡中被應(yīng)用最廣泛的是原子力顯微鏡，許多其他功能的掃描探針顯微鏡儀器大都架
構(gòu)在AFM原理之基礎(chǔ)上