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正文:

原子力顯微鏡的操作模式

原子力顯微鏡主要原理係藉由針尖與試片間的原子作用力，使懸臂樑產(chǎn)生微細(xì)位移，以測(cè)得表面結(jié)構(gòu)形狀，其中最常用的距離控制方式為光束偏折技術(shù)

接觸式：在接觸式操作下，探針與樣品問(wèn)的作用力是原子間的排斥力，這是最早被發(fā)展出來(lái)的操作模式。由于排斥力對(duì)距離非常敏感，所以

接觸式原子力顯微鏡較易得到原子級(jí)的解析度

非接觸式：為了解決接觸式原子力顯微鏡可能損壞樣品的缺點(diǎn)，便
有非接觸式原子力顯微鏡發(fā)展出來(lái)，這是利用原子間的長(zhǎng)距離吸引力『凡德瓦爾力』來(lái)工程。凡德瓦爾力對(duì)距離的變化非常小，因此必須使用調(diào)變技術(shù)來(lái)增強(qiáng)訊號(hào)對(duì)雜訊比，以得到
等作用力圖像。一般非接觸式原子力顯微鏡只有約50nm的解析度，不過(guò)在真空環(huán)境下操作，其解析度可達(dá)原子級(jí)的解析度，是原子力顯微鏡中解析度最佳的操作模式

輕敲式：輕敲式原子力顯微鏡則是將非接觸式加以改良，其原理係將探針與樣品距離加近，然后增大振幅，使探針在振盪至波谷時(shí)接觸樣品，由于樣品的表面高低起伏，使得振幅改變，再利用類似非接觸式的迴饋控制方式，取得高度影像