光感檢測(cè)系統(tǒng)近幾年來(lái)蓬勃發(fā)展，不論是傳統(tǒng)機(jī)械零件、微生物晶片、光學(xué)元件或是晶圓被覆薄膜等的表面性狀(Surface Integrities)檢驗(yàn)，

它都能做出快速準(zhǔn)確的判斷，使得量測(cè)穩(wěn)定性及可靠性提高。

因光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)為非接觸式，可直接線上量測(cè)；不但省去傳統(tǒng)受測(cè)件拆卸的繁瑣步驟、維持受測(cè)件的原本樣貌、

延長(zhǎng)檢測(cè)儀器的壽命，最重要的是其量測(cè)精度高。而這些表面參數(shù)對(duì)散射的影響，

仍需建立起一套量測(cè)機(jī)制來(lái)對(duì)它分析。本研究乃針對(duì)超密加工之模具模仁表面粗糙度，做光散射的效應(yīng)研究

機(jī)械元件或某些電子元件之表面粗糙度是一個(gè)影響元件性能的參數(shù)，就如雷射活性介質(zhì)之晶體、發(fā)光二極體量子井、太陽(yáng)能板之薄膜層等，其表面粗糙度品質(zhì)嚴(yán)重影響其光學(xué)、電學(xué)或機(jī)械性質(zhì)。而對(duì)于一個(gè)理想的反射面(Specular Reflection)或所謂的光學(xué)平滑面而言，其表面的不平整尺寸是遠(yuǎn)小于所使用的光波長(zhǎng)，當(dāng)表面不平整尺寸逐漸接近、甚至超越光波長(zhǎng)時(shí)，其散射效應(yīng)必然逐增加

因?yàn)榉治鲆粋�(gè)因表面粗糙度所導(dǎo)致之光散射效應(yīng)是很複雜的，顯然 BSDF 函數(shù)是非常普遍使用有方法可用來(lái)描述介質(zhì)介面之光散射，可在一定的入射光方向角度與光功率下，在特定的散射方向量測(cè)單位立體角內(nèi)所接收得光功率，此由介質(zhì)介面所輻射出之光散射的角度分佈狀況