標題：測量電子顯微鏡的原理介紹-三坐標測量工具顯微鏡廠家

信息分類:站內(nèi)新聞　　 作者:yiyi發(fā)布　　 時間:2013-1-20 1:06:10 將本頁加入收藏

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正文:

在一般的原子力顯微鏡中探針懸臂的垂直位置是利用雷射光經(jīng)由懸臂反射至感光二極體偵測器所偵測，

當懸臂彎曲造成雷射光偏斜，由偵測器所接收到的雷射光偏移訊號透過回饋訊號取得樣品表面位移量。

而在量測壓電力顯微鏡中偵測器接收的探針的整體偏斜訊號中也包含了因施加 AC 電壓于導電探針與鐵電

材料薄膜的下電極間所造成樣品表面壓電響應的局部震盪的訊號，而此訊號可透

過鎖相放大器擷取出來并且排除掉表面形貌的訊號。而由鎖相放大器所偵測到的

振盪訊號中的 first harmonic 代表鐵電材料的壓電常數(shù)(piezoelectric constant)，更

進一步稱為壓電響應訊號(piezoresponse signal)，其與樣品表面振盪的振幅及相位有關(guān)

出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科

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