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正文:

這是因激光加工于尖端的部分，會(huì)有較大的誤差，所以盡量減少尖端的角度，

（一）加工深度誤差

其產(chǎn)生之原因主要就是如上所述，我們以固定準(zhǔn)分子激光的輸出能量及頻率，控制工作平臺(tái)的移動(dòng)速度，既工作平臺(tái)的移動(dòng)速度控制不恰當(dāng)所導(dǎo)致，當(dāng)注意加工深度及工作平臺(tái)移動(dòng)速度的關(guān)系，并加以修正既可改正此誤差。

（二）曲面形狀誤差

微透鏡陣列之曲面是由光罩的圖樣所控制，所以此誤差之產(chǎn)生主要原因應(yīng)為光罩圖樣的誤差，（5-5），光罩上之曲線為一段一段小直線所連接而成，并非真正的曲線，所以會(huì)造成準(zhǔn)分子激光加工時(shí)，不能加工出完全平滑的曲線，而其改進(jìn)方法唯有設(shè)計(jì)光罩時(shí)的注意，但礙于電腦解析度的問(wèn)題，所以多多少少都會(huì)產(chǎn)生此問(wèn)題，而國(guó)家毫微米實(shí)驗(yàn)室（NDL）以及交大半導(dǎo)體中心所能接受光罩的圖檔有限，也是造成此誤差產(chǎn)生的原因。