標(biāo)題：CNC利用激光透過任意選取的光圈-工件測(cè)量顯微鏡
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2013-2-14 1:36:20
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正文:
光罩圖樣以投影方式直接加工基材簡(jiǎn)介
一種為光罩投影（mask projection）：其加工模式是利用激光
透過光罩圖樣以投影方式直接加工基材。
另一種為
聚焦直寫（direct writing）：其加工模式是利用激光透過任意選取
的光圈，運(yùn)用 CNC code 程式以單點(diǎn)方式直接刻除基材上欲設(shè)計(jì)之圖
樣（a）Mask Projection （b）Direct Write
藉由CNC系統(tǒng)控制工件與光罩平臺(tái)的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，并配合激光重複
率（repetition rate）、能量密度（fluency）、及透鏡的數(shù)值孔徑
（numerical aperture，NA）的設(shè)定，可控制激光照射工件表面的
劑量（dose）與入射角度，使得特殊的3D為結(jié)構(gòu)得以實(shí)現(xiàn)。
表示以控制工件平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)型態(tài)進(jìn)行曲面、多層、斜面結(jié)構(gòu)的加工，
其原理是利用不同的工件運(yùn)動(dòng)型態(tài)控制激光劑量。
此外利用光罩圖樣的設(shè)計(jì)，配合工件與光罩平臺(tái)的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，也可以獲得特殊的微
結(jié)構(gòu)，光罩拖拉（mask dragging）加工的技巧，這個(gè)技巧其實(shí)也就
是固定光罩而移動(dòng)工件平臺(tái)的加工方式，故也稱為移動(dòng)工件（moving
work piece）加工。中顯示在固定T形光罩與移動(dòng)工件的
加工過程當(dāng)中，T形的中間部份因接受較翼臂多的激光劑量，故導(dǎo)致
兩層的溝槽產(chǎn)生。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
特別聲明：本文出自北京上光儀器有限公司-未經(jīng)允許請(qǐng)勿轉(zhuǎn)載，本文地址：http://www.bjsgyq.com/news/3948.html
北京地區(qū)金相顯微鏡專業(yè)的供應(yīng)商
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