標(biāo)題：聲學(xué)顯微鏡解像力很適合物體表面或近表面的觀察
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作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2013-3-24 22:23:21
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正文:
聲學(xué)顯微鏡解像力和專業(yè)級(jí)光學(xué)顯微鏡差不多
三類聲學(xué)顯微鏡比較
三種聲學(xué)顯微鏡的成像技術(shù)有相當(dāng)?shù)牟町�，其�?yōu)劣點(diǎn)則各有千秋。
對(duì)于薄的受測(cè)物，通常采用第一類與第二類顯微鏡。第一類顯微鏡的聲學(xué)透鏡聚焦聲波，其操作頻率很高，
解像力也可達(dá)波長的0.5倍，因此其解像力目前已和最好的光學(xué)顯微鏡差不多，
目前的操作頻率欲達(dá)到1.5GHz已經(jīng)沒有什么困難了。
第二類利用雷射掃描來成像，一般操作頻率在100～500MHz之間，其解像力在同頻率下要比第一類顯微鏡差3～4倍。
可是第二類顯微鏡較容易固定受測(cè)物，且可當(dāng)純粹的光學(xué)顯微鏡用。它還有一個(gè)優(yōu)點(diǎn)，就是較易穿透較厚的試樣，
在材料檢測(cè)上更適用。藉改變?nèi)肷渎暡ǖ慕嵌�，材料中不同深度的影像可被顯示出來。第一類顯微鏡做反射式操作，
即僅用一換能器與凹面鏡當(dāng)作聲波發(fā)射器與接收器，很適合物體表面或近表面的觀測(cè)用，尤其是在微電子元件的品質(zhì)控制應(yīng)用上特別適合。
第三類的顯微鏡利用光或電子束激發(fā)聲波，它所顯示的是材料表面的熱彈性特性，因此可彌補(bǔ)前兩類顯微鏡功能的不足。
不斷地在努力以改良這些顯微鏡的性能，最主要的是改良解像力。
如第一類掃描聲學(xué)顯微鏡之解像力，乃受限于高頻率聲波在液體耦合介質(zhì)中的衰減，如果能找到一種液體具有低的聲波吸收系數(shù)及慢的聲波波速，
則解像力可予改良。低溫液體，如液態(tài)氦就具有這個(gè)優(yōu)點(diǎn)，史丹福大學(xué)的奎特教授目前正在發(fā)展這種低溫的聲學(xué)顯微鏡。
在雷射掃描顯微鏡中，解像力其實(shí)仍受限于聲波波長，由于振動(dòng)鏡片上覆蓋的塑膠膜及解調(diào)器的反應(yīng)，往往使所獲得的影像變形，
此類顯微鏡目前尚未達(dá)到其解像力極限。這種非線性的變形，使我們熟知的線性傅氏轉(zhuǎn)換（Fourier transformation）無法使用，
須藉更進(jìn)步的電子影像處理技術(shù)，方能達(dá)到其解像力之極限。上述第二類顯微鏡已有商品問市，而第一類與第三類聲學(xué)顯微鏡則有待研究改進(jìn)。
然而，它們?cè)诓牧涎芯亢推焚|(zhì)控制上將會(huì)成為有用的工具，則是毋庸置疑的。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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