標題：測量顯微鏡主要由激光光源、分光鏡與兩個反射鏡所構成
信息分類:站內新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2013-4-17 21:05:15
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正文:
激光干涉儀是目前業(yè)界測量機臺幾何誤差之標準設備，其測量原理是針對三軸機臺的廿一個幾何誤差量，
藉由搭配各種型式之光學鏡組，利用不同相位之激光光交會所產生的光強變化進行測量，
激光干涉儀廠皆有推出相關的測量設備產品。以定位誤差量測為例，
測量系統(tǒng)主要是由激光光源、一分光鏡與兩個反射鏡所構成，而測量系統(tǒng)之架設方式，
一般為固定分光鏡與一反射鏡，并將另一反射鏡安
裝在待測軸上，如圖1所示。激光光在入射分光鏡后會分為兩道光束，并
經由兩面反射鏡將其折回至分光鏡，產生干涉條紋。干涉條紋會隨著固定
于待測軸上反射鏡之移動產生明暗之變化，透過感測器偵測此變化即可計
算待測軸之實際移動量，后續(xù)只需進一步比較待測軸預先設定之移動量，
即可獲得機臺之定位誤差。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科