標(biāo)題：顯微鏡的蓋玻片厚度范圍從0.1mm 到0.15mm
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作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2013-5-2 16:04:51
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正文:
顯微鏡的蓋玻片厚度范圍從0.1mm 到0.15mm
以平整度和厚度的均勻性為選擇基板之考量
此基板厚度范圍從0.1mm 到0.15mm，膜厚約1000至3000Å，由于鐵膜的應(yīng)力夠大而使基板彎曲，
測(cè)量方法是藉著光學(xué)干涉原理觀察牛頓環(huán)，利用平整度為十分之一波長(zhǎng)的光學(xué)平鏡(optical flat) 測(cè)量基板的彎曲。
牛頓環(huán)法的基本原理與懸臂樑法相似，也是利用基板的形變測(cè)定薄膜的內(nèi)應(yīng)力。與其不同的是基板形狀，
因此也稱為圓片法(disk method)
早期使用的基板為玻璃、石英、單晶矽等材質(zhì)，其尺寸范圍為厚度0.13mm、直徑18mm
至厚度0.22mm、直徑30mm，基板的表面要進(jìn)行光學(xué)拋光。近年來(lái)也有使
用直徑5cm，厚度1mm的玻璃圓片做為鍍膜基板。
在蒸鍍前后，將基板放在石英板的光學(xué)平面(optical flat)上，測(cè)量其曲
率半徑。把試樣放在光學(xué)平面上后，用垂直于表面的光照射，這時(shí)在
試樣表面和光學(xué)平面之間由于光的干涉將產(chǎn)生牛頓環(huán)，測(cè)量牛頓環(huán)的
條紋數(shù)目的變化就可以測(cè)定基板的曲率半徑，從而算出內(nèi)應(yīng)力
快速地量測(cè)應(yīng)力。量測(cè)方法是在一很小的圓形薄基板上蒸鍍一層薄膜，
可使用一種普通的顯微鏡蓋玻片(直徑18mm，厚度0.18mm)為基板。鍍膜后會(huì)使蓋玻片變形，
約成一種拋物面的形狀，在牛頓環(huán)的實(shí)驗(yàn)中，是以平行光入射在樣品表面，在樣
品與光學(xué)平板之間產(chǎn)生干涉條紋，再?gòu)钠浔砻娣瓷涞狡聊簧�，依�?jù)幾
何光學(xué)法來(lái)決定此一”球形面鏡”的焦距，薄膜影像的放大或縮小，即
表示由于膜應(yīng)力對(duì)應(yīng)于基板的畸變大小，由放大倍率的數(shù)值決定應(yīng)力的符號(hào)
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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