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標(biāo)題：光學(xué)式測(cè)量?jī)x和探針式測(cè)量顯微鏡的原理簡(jiǎn)介

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正文:

光學(xué)式測(cè)量?jī)x和探針式測(cè)量儀器的原理簡(jiǎn)介

低成本三次元觸發(fā)式量測(cè)探頭，探頭前端的球狀探針是利用放電加工機(jī)以線放電研磨法制作而成，其直徑小于 100微米。

研究采用碳化鎢（WC）為材料的探針。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，前端圓球的真圓度可達(dá)3微米。

由于尖球不容易用肉眼觀察，我們?cè)O(shè)計(jì)了一個(gè)顯微影像系統(tǒng)觀察即時(shí)探測(cè)。該系統(tǒng)是利用商業(yè)攝像頭和顯微物鏡所設(shè)計(jì)而成。

一般傳統(tǒng)三次元量測(cè)探頭，是將探針與懸吊機(jī)構(gòu)結(jié)合。當(dāng)探針和工件接觸后，藉由懸吊機(jī)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)做為觸發(fā)之判斷依據(jù)。

但利用微細(xì)放電加工機(jī)所制作之探針，相當(dāng)脆弱且探球之針柄相當(dāng)細(xì)，當(dāng)此探針和工件接觸后，

針柄易彎曲變形造成量測(cè)之誤差，甚至造成探針端裂。因此本專題設(shè)計(jì)一電路來進(jìn)行觸發(fā)量測(cè)，

設(shè)計(jì)原理是讓電晶體永遠(yuǎn)保持導(dǎo)通，當(dāng)探針和工件接觸后，就如同開關(guān)一樣，使迴路之電阻導(dǎo)通，

進(jìn)而擷取電阻之電壓值作為觸發(fā)判斷之依據(jù)。由于讓電晶體永遠(yuǎn)保持導(dǎo)通，可以避免探針和工件接觸時(shí)，瞬間產(chǎn)生能量過大而造成誤差。

出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科

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