標題：金屬材料實驗/礦相研究-金相試樣檢測顯微鏡
信息分類:站內新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2013-5-29 0:36:14
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正文:
清潔油污檢測
從光散射 Rayleigh 的理論來說，當微粒直徑遠小
于光波長時，散射光源可視為點偏振 dipole。光源入射晶圓表面微粒后，產生之反射光
也會照射在微粒上，形成 dipole，產生半圓的散射光
納米繞射及散射線寬量測技術AFM 量測 CD 線寬量測技術，采用左右傾斜，兩次掃描量測，
再以縫補技術補償誤差，經測試后，發(fā)現 AFM電子顯微鏡 固定探針機構，會干涉到左右傾斜角度，
所以必需改采前后傾斜，已開始設計采前后傾斜所需調整機構。
階高標準片(介于 1-100 μm)研制
階高標準片(介于 1-100 μm)是采用在 50 mm 直徑圓形基板上，表層加工成精密鏡
面，再以鉆石刀精密加工凹槽，可視要求規(guī)格，加工不同階高，已有完成品，但標準件
加工成本太高，若能分割成多片傘形尺寸，可降低成本外，整體尺寸與重量都能大幅降低，
切割困難性在于可能會損毀鏡面表面或階高標準產生變形，加工屑料微粒會掉入階
高凹槽內，冷卻液污損標準件等問題。
將測試以線切割方式，將階高標準片浸于冷卻液，避免高溫，加工屑料損傷鏡面，
加工完成后，再以超音波清潔油污與殘屑
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科