標(biāo)題：電荷式電容量測的原理簡介-小尺寸金屬測量顯微鏡
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2013-5-30 0:13:32
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正文:
由于有高量測精準(zhǔn)度以及其易于操作之特性，電荷式的電容量測方法在這幾年來受到很大的矚目。
除了廣泛應(yīng)用在后段制程金屬接線電容的量測上外，其應(yīng)用也成功的拓展到會(huì)隨電壓變化的小尺寸金氧半電晶體元件電
容。在本文中，我們將先藉由傳統(tǒng)的電荷式電容量測方法，
電荷式電容量測的原理及操作，
介紹一種改良的新式電荷式電容量測方法，此一新的電荷式電容量測方法可完全避免由電荷注入現(xiàn)象所造成的誤差，
而比傳統(tǒng)的電荷式電容量測方法有更高的量測精準(zhǔn)度。
藉由此電容量測方法，我們將可以直接監(jiān)測在化學(xué)機(jī)械研磨制程中受虛擬填充金屬影響的金屬接線電容，
除此之外，我們還將呈現(xiàn)數(shù)個(gè)小尺寸的金氧半電晶體閘極電
容量測的例子及其應(yīng)用。這個(gè)新的電容量測方法，
將是未來元件工程師在小尺寸元件的電容量測及分析上一個(gè)
不可缺少的工具。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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