標(biāo)題：試樣的制備干涉顯微鏡采用與輪廓測量儀相同
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作者:yiyi發(fā)布
時間:2014-4-29 21:48:49
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正文:
輪廓儀法
輪廓儀測厚法又稱觸計(jì)法。它是采用鍍前屏蔽或鍍后溶解的方式。使基
體的某一鄰位不存在鍍層，于基體和鍍層之間形成一個臺階。
靠輪廓記錄儀探針的運(yùn)動，測量臺階的高度（即鍍層厚度）。
這種方法可用來測量較寬范圍的鍍層厚度�？蓽y量平面
上從0.01到10005m的鍍層。誤差在±10% 以內(nèi)；
輪廓記錄儀有幾種類型：電子記錄針式儀器，即表面分析儀和表面輪廓
記錄儀，通常用于測量表面粗糙度，也可用于記錄臺階的輪廓，具有記錄針
收電子感應(yīng)比較儀，結(jié)構(gòu)比較簡單，也可記錄臺階的輪廓。
這兩種儀器通常測量鍍層厚度的范圍是：電子記錄針儀器為0.005^250
μm ，電子感應(yīng)比較儀為1~1000μm
干涉顯微鏡法采用與輪廓儀法相同的試樣處理方式，即造成基體與鍍
層之間的臺階，利用多光束干涉測量儀對該臺階進(jìn)行測量。
干涉測量儀有一個貼于試樣作平面塞準(zhǔn)板的透鏡。當(dāng)一束單色光在試樣
上和上述透鏡之間來回反射時，就可通過一個低倍顯微鏡來觀察干涉條紋圖
象。若將叢準(zhǔn)板相對于待測試樣表面稍，0 傾斜，
就會形成一系列平行的干涉條紋線。試樣表面的臺階會使干涉條紋偏移。
一個條紋間距偏移相當(dāng)于單色光半個波長的垂直位移，干涉條紋所移動
的間距和形狀可用帶刻度線的目鏡測微計(jì)來觀察和測定。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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