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標(biāo)題：顯微鏡成像原理應(yīng)用于測(cè)量小零件測(cè)輪廓尺寸

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顯微鏡成像原理應(yīng)用于測(cè)量小零件測(cè)輪廓尺寸

(1)激光衍射測(cè)量利用激光照射狹縫時(shí)產(chǎn)生的夫朗和費(fèi)衍射條紋的原理。

這種方法需要的測(cè)量?jī)x器復(fù)雜，特別是對(duì)于這種特殊環(huán)境,要求激光束的直徑很

小(至少要和微操作器的尖端直徑在同一數(shù)量級(jí)內(nèi))才可獲得準(zhǔn)確的測(cè)量結(jié)果。

(2)利用顯微鏡成像原理對(duì)于一臺(tái)確定的顯微鏡，其成像的距離PQ與顯微鏡物鏡

的放大倍數(shù)和物鏡的數(shù)值孔徑等固有參數(shù)成確定的函數(shù)關(guān)系。

但是對(duì)于一確定放大倍數(shù)和數(shù)值孔徑的物鏡，其成像范圍并不是一條弧線，

而是一個(gè)范圍(帶狀區(qū)域)。在這個(gè)區(qū)域中成像的清晰度可近似用高斯分布曲線表示，

利用計(jì)算機(jī)可對(duì)數(shù)字圖像進(jìn)行處理，尋找出最清晰點(diǎn)Q的距離值，用這種方法

獲取Z方向的信息，不僅可以對(duì)微操作器進(jìn)行測(cè)量，還能對(duì)操作對(duì)象的Z方向信息

進(jìn)行測(cè)取，它的缺點(diǎn)是計(jì)算的誤差比較大，如何對(duì)誤差進(jìn)行補(bǔ)償是一個(gè)面臨的問(wèn)題。

出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科

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