標(biāo)題：雙目顯微鏡或螺旋目鏡測(cè)微計(jì)測(cè)量-工具顯微鏡
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2014-8-9 9:26:14
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正文:
用具有標(biāo)度尺的雙目顯微鏡或螺旋目鏡測(cè)微計(jì)測(cè)量徑跡蝕孔
的長(zhǎng)度和直徑，所能達(dá)到的測(cè)量精度不高，一般只能測(cè)準(zhǔn)至1-2
μm左右.特別是在CR-39探測(cè)器問世以后，由于其性能優(yōu)良，
常規(guī)測(cè)量方法對(duì)測(cè)量精度的限制就顯得更為突出.利用激光干涉
儀，可以較大幅度地提高測(cè)量的精度。
這種測(cè)量方法的基本原理是，在顯微鈍的x軸和二軸上各裝
置一套激光干涉儀，利用多普勒效應(yīng)，分別測(cè)定樣品與固定在顯微
鏈臺(tái)上的一塊直角反射鏡之間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)速度，以及顯微鏡臺(tái)與
安放目鏡的懸臂之間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)速度.再通過計(jì)算機(jī)對(duì)測(cè)得的速
度進(jìn)行積分，求出兩對(duì)物體之間的距離.這種方法對(duì)x軸和z軸
位置測(cè)定的標(biāo)準(zhǔn)偏差分別可達(dá)0.19及0.5μm.
由于利用多普勒效應(yīng)測(cè)定運(yùn)動(dòng)速度時(shí)，所比較的是出射的與
返回的激光信號(hào)的頻率，而不是它們的振幅，因此對(duì)激光的強(qiáng)度沒
有特殊的要求，而且也不受光路上塵埃等污染的影響.
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
特別聲明：本文出自北京上光儀器有限公司-未經(jīng)允許請(qǐng)勿轉(zhuǎn)載，本文地址：http://www.bjsgyq.com/news/5911.html
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