標題：晶片截面分析用金相顯微鏡-檢測光學儀器
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2014-8-21 17:49:08
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正文:
晶片截面分析用金相顯微鏡-檢測光學儀器
采用紅外光導(dǎo)攝象管和電子掃描，或者采用一個單元件檢測
器和機械掃描就可以構(gòu)成更完善的系統(tǒng).采用機械掃描能提供更
大的附加自由度，
因為能夠選擇在所希望的任何波長范圍內(nèi)都具
有最佳性能的透鏡或者鏡子和檢測器.例如，較長的波長有
時在勾畫雜質(zhì)濃度變化方面是有幫助的，這是因為自由載流子的
吸收是隨著波長的增加而提高.由于反射率和透射率都是載流子
濃度的函數(shù)，因此在檢測摻雜的變化時，
當有可能使用時，采用反射光要簡便得多，因為晶片背面無需拋光.
不透明半導(dǎo)體的薄膜可以在不使用紅外線的情況下進行觀察，
尤其是藍寶石上的硅，根據(jù)它的特殊的性質(zhì)(薄、背襯透明)可直
接地進行研究
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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北京地區(qū)金相顯微鏡專業(yè)的供應(yīng)商
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