標(biāo)題：研磨、拋光或其他機(jī)械加工樣品金相顯微鏡
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作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2014-12-7 20:04:52
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正文:
研磨、拋光或其他機(jī)械加工樣品金相顯微鏡
缺陷的范圍很廣，它可能由空氣中的顆粒沾污造成，也可能
由化學(xué)處理的沾污造成，研磨、拋光或其他機(jī)械加工操作中所產(chǎn)
生的顆粒也是缺陷的來源。假如清洗和干燥操作不當(dāng)，也會(huì)造成
玻璃的劃傷以及在精細(xì)拋光過程中由于嵌入雜質(zhì)，也會(huì)造成玻璃
板的劃傷。假如在涂鉻或金屬化的過程中，在表面上存在缺陷的
話，那么就可能造成圖像錯(cuò)誤。玻璃基板的兩個(gè)表面都應(yīng)去除缺
陷。在放大倍數(shù)為400的顯微鏡下能觀察到的缺陷才稱之為缺陷，
一般來說，在400倍顯微鏡下不能觀察到的缺陷是不會(huì)造成嚴(yán)重
的圖像錯(cuò)誤的。但是當(dāng)圓形尺寸小于25m時(shí)，就不能再用400倍
的顯微鏡來決定缺陷是否存在了。在掩膜檢驗(yàn)一章中，我們將詳
細(xì)介紹缺陷的檢驗(yàn)方法，
基板兩個(gè)表面的缺陷都會(huì)造成圖像錯(cuò)誤，背面的缺陷會(huì)反射
到前面，并與前面的缺陷混在一起而影響光刻質(zhì)量。這里所討論
的缺陷，·無論是表面的還是體內(nèi)的，在光刻設(shè)備中被照明時(shí)，都
會(huì)引起不透明的斑點(diǎn)。這種錯(cuò)誤要比改變透射特性的光學(xué)畸變嚴(yán)
重得多。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
特別聲明：本文出自北京上光儀器有限公司-未經(jīng)允許請(qǐng)勿轉(zhuǎn)載，本文地址：http://www.bjsgyq.com/news/6334.html
北京地區(qū)金相顯微鏡專業(yè)的供應(yīng)商
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