標(biāo)題：視頻顯微鏡下計(jì)數(shù)和測(cè)定粒子大小-測(cè)量光學(xué)儀器
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2015-6-22 18:22:35
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正文:
粒子測(cè)量系統(tǒng)
污染控制的一個(gè)基本任務(wù)就是計(jì)數(shù)和測(cè)定粒子大小。必須采
取某些測(cè)定粒子的方法來確定產(chǎn)品表面及其制造環(huán)境的粒狀物質(zhì)
控制是否有效。
當(dāng)然，檢驗(yàn)產(chǎn)品表面有無粒子存在是最直接、最典型的測(cè)量
方法。在顯微鏡下用肉眼觀察，不僅可以定量地提供粒子的情況
，而且可以直接辨認(rèn)出粒子的類型。用這種方法進(jìn)行識(shí)別是消除
粒子源的第一步。
生產(chǎn)高靈敏產(chǎn)品的環(huán)境應(yīng)盡可能沒有塵�！，F(xiàn)在已有一種能
瞬時(shí)測(cè)量液體或氣體粒子含量的儀器。用這些儀器可以鑒定各種
類型的液體處理過濾器是否完善，并可用來測(cè)定新環(huán)境的絕對(duì)質(zhì)
量。本章將討論制造微電子器件所用的方法、儀器及其優(yōu)缺點(diǎn)。
檢查方法的選擇
在選擇檢查粒子方案時(shí)，首先應(yīng)考慮為什么要進(jìn)行檢查。
需要解決的問題有：在空氣或液體工藝環(huán)境中，粒子大小的分布
；識(shí)別引起特種產(chǎn)品失效模式的粒子；找出粒子計(jì)數(shù)變化的時(shí)間
，從而改進(jìn)生產(chǎn)工藝。需要獲得這些參數(shù)的原因是為了要確定采
用哪些方法最好。
對(duì)空氣或液體環(huán)境中的粒子，或是以某種方式收集起來并送
到實(shí)驗(yàn)室的粒子都應(yīng)進(jìn)行分析。一般的電子粒子計(jì)數(shù)器都能夠完
成狀態(tài)測(cè)量。 如果這種儀器買不到，或者所分析的粒子類型不
是原來需要的，就必須收集成批試樣。 一般讓粒子在重力作用
下從環(huán)境中落下，或使試驗(yàn)液體流過適當(dāng)?shù)倪^濾器。
如果要進(jìn)行瞬時(shí)測(cè)量，重力法和撞擊法都是不合適的。 然
而要測(cè)定粒子大小，并對(duì)粒子進(jìn)行識(shí)別，這些收集方法也是可以
的。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
特別聲明：本文出自北京上光儀器有限公司-未經(jīng)允許請(qǐng)勿轉(zhuǎn)載，本文地址：http://www.bjsgyq.com/news/7110.html
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