標(biāo)題：場離子顯微鏡要算是最精密的表面分析-加工形狀
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作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2015-8-1 11:59:06
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正文:
場離子顯微鏡要算是最精密的表面分析-加工形狀
大概場發(fā)射顯微鏡和場離子顯微鏡要算是最精密的表面分析方
法之一了，它們的基本原理是，對表面施加一個(gè)足夠強(qiáng)的電場，
使電子能夠燧穿表面的功函數(shù)壁，因?yàn)殪荽⿴茁嗜Q于電子通過
的表面的狀態(tài)，所以燧穿電子數(shù)在表面細(xì)節(jié)發(fā)生變化時(shí)也隨之逐
點(diǎn)變化，這樣就能以接近于單個(gè)表面原子尺度的分辨率得到關(guān)于
空間變化情況的許多信息，除了能夠提供被測表面“圖象”的空
間變化外，測量燧穿電子的絕對數(shù)目，也可以提供表面上詳細(xì)電
位分布的定量信息。
在場發(fā)射顯微鏡中，外加電場使電子通過燧道效應(yīng)空出表面，
測量電子數(shù)目和把電子加速，使它打到一個(gè)熒光屏上，就可以得
到功函數(shù)在表面變化的圖象，而在場離子顯微鏡中，這個(gè)電場被
顛倒過來，使氣體原子中的電子通過燧道效應(yīng)進(jìn)入表面，從而形
成正離子，然后將這種正離子加速到熒光屏上，也能得到表面電
位變化的圖象，使用這些方法的主要問題是，需要一個(gè)每厘米幾
百萬伏的電場，才能產(chǎn)生可探測的結(jié)果，試圖用普通的平面來做
這類實(shí)驗(yàn)顯然是不切實(shí)際的，為了得到這樣強(qiáng)的電場，必須使用
極細(xì)小的尖端，也就是說，樣品要做成一個(gè)錐形，其尖端的曲率
半徑接近幾百埃，因此，這種方法就受到一定限制，即研究的材
料必須能加工成這種形狀，而且要能承受所要求的電場。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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