標(biāo)題：不同的加工技術(shù)有其各自的特點(diǎn)、加工性能和適用范圍
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作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2016-6-11 20:43:57
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正文:
不同的加工技術(shù)有其各自的特點(diǎn)、加工性能和適用范圍
傳統(tǒng)精密機(jī)械加工技術(shù)面向三維形狀，對(duì)加工對(duì)象的材料
適應(yīng)性強(qiáng)，能夠解決微小型系統(tǒng)承載結(jié)構(gòu)件和系統(tǒng)微小型化的問(wèn)題
。目前精密機(jī)械、電子、光學(xué)等領(lǐng)域有大量的精密微小型零件都是
采用傳統(tǒng)精密機(jī)械加工工藝和精密機(jī)床制作的。
微小型制造技術(shù)與MEMS(Micro Electro Mechanical Syst
em)技術(shù)的主要差異是在所使用的材料和制造工藝方法上。微小型
制造技術(shù)集中于金屬的機(jī)械制造工藝，利用工具成型幾何表面，能
適應(yīng)多種材料，而MEMS技術(shù)集中于由半導(dǎo)體制造工藝發(fā)展而來(lái)的工
藝方法和相關(guān)材料。微小型制造技術(shù)適于單個(gè)加工，而MEMS技術(shù)適
于批量制作。微小型制造技術(shù)面向于三維可動(dòng)微小零件、機(jī)構(gòu)和裝
置，而MEMS技術(shù)趨向于平面微機(jī)械零件和MEMS器件。
不同的加工技術(shù)有其各自的特點(diǎn)、加工性能和適用范圍。
現(xiàn)階段普遍認(rèn)為，有潛力的、適合于微小型制造的加工技術(shù)有激光
微納加工、超聲波微細(xì)加工、磨料流動(dòng)微細(xì)加工、微細(xì)電火花加工
(Electrical Discharge Machining，EDM)、微細(xì)電化學(xué)加工(Elee
trical Chemical Machining，ECM)、微細(xì)銑削、微細(xì)鉆削、微細(xì)
磨削、聚焦離子束(Focused Ion Beam，F(xiàn)IB)加工、微細(xì)立體光刻(
Stereolithography，SL)、微沖壓、微擠壓、流體噴射微細(xì)加工和
微粒沖壓等。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
特別聲明：本文出自北京上光儀器有限公司-未經(jīng)允許請(qǐng)勿轉(zhuǎn)載，本文地址：http://www.bjsgyq.com/news/8505.html
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