標(biāo)題：共焦顯微鏡用來(lái)測(cè)量透明膜層厚度-表面輪廓檢測(cè)
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作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2016-7-3 21:15:41
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點(diǎn)擊查看產(chǎn)品參數(shù)和報(bào)價(jià)--丨--
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正文:
用于表面輪廓檢測(cè)的共聚焦系統(tǒng)的工作方式相當(dāng)于一個(gè)在待測(cè)
表面上進(jìn)行掃描的焦點(diǎn)探測(cè)系統(tǒng)。在一些情況下，比如使用信號(hào)的
重心或者用多項(xiàng)式擬合取代簡(jiǎn)單的最大輻射位置來(lái)確定信號(hào)的位置
，信號(hào)軸向點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)的位置通�？梢源_定下來(lái)。軸向點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)
的寬度和樣品等級(jí)也會(huì)對(duì)確定信號(hào)位置的一致性產(chǎn)生影響，進(jìn)而影
響到垂直分辨力。軸向信號(hào)越窄，垂直分辨力就越好，這是因?yàn)樽?/div>
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
佳垂直分辨力依賴于物鏡的NA及放大率。表面輪廓的垂直分辨力通
常定義為差值測(cè)量的RMS值。垂直分辨力還決定了被測(cè)樣品上能夠
測(cè)量到的最小高度。
對(duì)于光滑表面而言，垂直分辨力在幾個(gè)納米量級(jí)，但只針對(duì)高
倍率物鏡。對(duì)于低放大倍率的物鏡，垂直分辨力大概在10～15nm至
微米量級(jí)。這種垂直分辨力通常也稱為方法靈敏度。
共焦顯微鏡通常用來(lái)測(cè)量透明膜層的厚度，其處理方法稱為光
學(xué)限幅。光線透過(guò)物體，在膜層界面發(fā)生反射，從而產(chǎn)生額外的軸
向響應(yīng)。共焦顯微系統(tǒng)的光學(xué)限幅技術(shù)常常用來(lái)對(duì)諸如生物細(xì)胞、
半導(dǎo)體工業(yè)中的透明涂層進(jìn)行測(cè)量。在這些情況下，垂直分辨力也
有了不同的定義，其定義要適用于可測(cè)量的光學(xué)厚度
軸向垂直分辨力的定義基于信號(hào)的垂直兩點(diǎn)的分辨力，而軸向信
號(hào)的寬度又決定了這個(gè)分辨力，這種情況下，軸向垂直分辨力也就
是最小可測(cè)量的光學(xué)厚度。對(duì)于大NA的物鏡，光學(xué)限幅的垂直分辨
力可達(dá)到1．5微米，這比與測(cè)量臺(tái)階高度相關(guān)的垂直分辨力要大得
多。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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