標(biāo)題：輪廓儀給出了光滑和粗糙表面的形貌分析顯微鏡
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2016-7-4 15:05:06
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正文:
干涉光學(xué)輪廓儀的其他名稱
用于工程表面測(cè)量，具有軸向掃描的白光干涉測(cè)量技術(shù)有不同
的分類，而且還可以發(fā)現(xiàn)使用了以下一些名稱：
白光干涉測(cè)量(WLI)
垂直掃描干涉測(cè)量(VSI)
低相干干涉測(cè)量(LCI)
相干探針
光學(xué)相干輪廓測(cè)量(OCP)
光學(xué)相干顯微鏡測(cè)量
掃描白光干涉測(cè)量(SWLI)
白光掃描干涉測(cè)量(WLSI)
相干探頭顯微鏡測(cè)量(CPM)
相關(guān)顯微鏡測(cè)量
相位相關(guān)顯微鏡測(cè)量
干涉顯微鏡
顯微干涉測(cè)量
寬帶干涉測(cè)量
全域光學(xué)相干斷層成像
寬域光學(xué)相干斷層成像
相干雷達(dá)
條紋峰值掃描干涉測(cè)量
對(duì)于生物標(biāo)本，同樣的測(cè)量方法主要叫做光學(xué)相干斷層成像(OCT
)，但也叫做時(shí)域光學(xué)相干斷層成像(TD．OCT)、相干雷達(dá)或共焦干
涉顯微鏡。波長(zhǎng)掃描干涉儀
可替代白光和多波長(zhǎng)干涉儀的是光譜干涉儀，在較寬的波長(zhǎng)范
圍內(nèi)，光譜干涉儀利用了光譜干涉條紋。光譜干涉條紋可以通過(guò)光
源波長(zhǎng)的掃描或者利用分光計(jì)將白光條紋分散開(kāi)來(lái)得到。
利用波長(zhǎng)掃描的光譜干涉測(cè)量所使用的裝置基于典型邁克耳遜
干涉儀，所不同的是其光源是波長(zhǎng)可調(diào)諧的。為了找到每一點(diǎn)對(duì)應(yīng)
的最佳的聚焦位置，這個(gè)系統(tǒng)不需要像在典型的共焦顯微鏡中進(jìn)行
的逐點(diǎn)軸向機(jī)械掃描，或者在白光干涉測(cè)量中的軸向場(chǎng)掃描那樣。
代替這些的是，對(duì)光源的波長(zhǎng)進(jìn)行掃描，從而觀察到不同頻率的條
紋，這樣被檢物體相對(duì)于參考反射鏡的高度就可以確定了。這種波
長(zhǎng)掃描輪廓儀給出了光滑和粗糙表面的形貌，
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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