標(biāo)題：非接觸式光學(xué)顯微鏡孔徑測量裝置的測量應(yīng)用
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2016-7-9 12:56:09
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正文:
兩棱面上形成的干涉條紋寬度等距的情況，當(dāng)兩棱面形成的干涉條
紋不等距時(shí)，必須對每個(gè)棱面分別定度，并分別計(jì)算每個(gè)棱面上零
級條紋的移動(dòng)。較好的方法是移動(dòng)工作臺(tái)，使測量標(biāo)準(zhǔn)具時(shí)，一個(gè)
棱面的零級條紋的位置與測孔時(shí)同一棱面的零級條紋的頂點(diǎn)的位置
重合。這樣，只要計(jì)算另一棱面上零級條紋位置的移動(dòng)，就可求得
孔徑對標(biāo)準(zhǔn)具尺寸之差。
本裝置的定度方法與接觸式干涉儀相同。不過，由于棱鏡面積
小，只能取3～4條干涉條紋來計(jì)算格值。
非接觸式干涉孔徑測量裝置的測量誤差包括：①干涉讀數(shù)系統(tǒng)
的誤差；②標(biāo)準(zhǔn)具誤差；③工件安裝調(diào)整不準(zhǔn)確帶來的誤差；④環(huán)
境溫度變化帶來的誤差。
在①、②兩項(xiàng)誤差中，又包含著若干影響因素，在較嚴(yán)格控制
各項(xiàng)因素及溫差不超過0．2℃的條件下，對于直徑小于直徑20mm的
孔，此方法的極限測量誤差可小于±0．2μm。
上述干涉測孔的優(yōu)點(diǎn)是可以得到很高的讀數(shù)準(zhǔn)確度。其缺點(diǎn)是
操作復(fù)雜，工作條件較苛刻。； 最后還應(yīng)指出，許多以直接比較
方式測量軸、孔的量具儀器，加用量塊或標(biāo)準(zhǔn)件后，也可以作徼差
比較測量，以提高測量準(zhǔn)確度。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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