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3D光學輪廓儀 (3D Optical Profiler)
新型態(tài)3D光學輪廓儀將共軛焦及干涉這兩種技術結合為一，可以精確而可靠地測量從毫米到奈米等級別的表面輪廓。共軛焦技術可以量測從平坦到很粗糙的表面，而相位差干涉則適合處理高低差極小的樣本。

1. 非接觸式共軛焦及干涉3D輪廓儀
近年來，共軛焦及干涉影像輪廓儀在市場上競爭激烈，這兩種技術可以精確而可靠地測量由毫米級到奈米級別的表面形貌。而我們推出的新型態(tài)3D光學輪廓儀已將這兩種的技術結合為一，同時在多重形貌的待測物上達到快速、非破壞性的量測實績。對于研發(fā)單位、品保檢測或是線上即時量測需求，完全可以客製化設計，滿足客戶要求。

●共軛焦 Confocal 量測

共軛焦的開發(fā)是為了量測從平坦到很粗糙的表面。藉由表面的垂直掃描，讓物鏡的焦點掃過表面的每一點，藉此找出表面每個pixel的對應高度。共軛焦輪廓提供了超高的水準解析度，在100倍以上的鏡頭提供了0.1 um 的 spatial sampling。 并且可以量測斜率最大容許至70度

●相位差干涉 PSI

相位差干涉是干涉量測上的新型應用，專門用來對付高低差極小的樣本，高低差小馀200 nm 的樣本都非常適合這個模式。在一些高精度的表面粗糙度量測，以前大多藉助于原子力顯微鏡(AFM)，現在可以利用我們的相位差干涉儀來量測，避免AFM的問題。另外不只是極小的粗糙度可以獲得良好的數據,在一些維細的高低差,相位差干涉也可發(fā)揮杰出的效能。

●白光干涉 VSI

VSI(Vertical Scanning interferometers)已經被應用在表面量測一段時間了，利用干涉條紋掃過物體表面，藉由物體表面的高低會影響干涉條紋震幅的特性，記錄震幅改變來勾勒出整個表面形貌。

白光軸向色差光學輪廓儀
不同于共軛焦及干涉原理，白光軸向色差法是運用光學軸向色散的特性，利用
不同波長會聚焦在不同的深度范圍來進行即時的三維形貌量測，對樣品表面進行快速、重複性高、高解析度的三維測量，測量范圍可從納米級粗糙度到毫米級的表面形貌，臺階高度，給MEMS、半導體材料、太陽能電池、膜厚、光學元件、陶瓷和先進材料的研發(fā)和生產提供了一個精確的、價格合理的計量方案。

垂直測量范圍：27mm
垂直解析度：<2nm
掃描速度 1m/s
橫向解析度：5nm
可視區(qū)域： 400*600mm