標(biāo)題：光學(xué)測(cè)量在測(cè)量與被測(cè)表面不接觸,測(cè)量速度快
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作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2016-12-7 1:41:20
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正文:
光學(xué)測(cè)量在測(cè)量與被測(cè)表面不接觸,測(cè)量速度快
聚焦探測(cè)法又稱為光學(xué)探針?lè)�，它類似于機(jī)械觸針?lè)ǎ瑢⒕劢?/div>
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
光束代替金剛石觸針，然后利用不同的光學(xué)原理，來(lái)檢測(cè)被測(cè)表面
的形貌相對(duì)于聚焦光學(xué)系統(tǒng)的微小距離變化。利用聚焦探測(cè)原理進(jìn)
行表面形貌測(cè)量的方法有多種，根據(jù)聚焦誤差信號(hào)檢測(cè)方式的不同
，主要有傅科刀口法、差分法、光強(qiáng)法、臨界角法、像散法及偏心
光束法等。
光學(xué)測(cè)量法在測(cè)量時(shí)與被測(cè)表面不接觸，測(cè)量速度快，而且在
一定程度上克服了觸針?lè)ǖ娜秉c(diǎn)——避免損傷樣品表面。但各類光
學(xué)法除各自自身的技術(shù)問(wèn)題之外，存在著一個(gè)共性的缺點(diǎn)：橫向空
間分辨率由于受阿貝衍射極限的限制而只能達(dá)到亞微米級(jí)水平，對(duì)
于空間波長(zhǎng)接近納米級(jí)的超光滑表面而言這一分辨率是遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠的
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