標題：宏觀幾何形狀超精密表面測量粗糙度輪廓儀
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2016-12-7 16:41:45
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正文:
當(dāng)用AFM掃描時，掃描范圍增加后，由于掃描管的非線性和結(jié)構(gòu)造
成的交叉耦合誤差，對測量結(jié)果的影響增大，雖然在分析數(shù)據(jù)時已對原
始掃描圖像“平整”，但掃描尺寸增大后，該補償所起的作用有所減弱
，使得測量值增大。對于表面質(zhì)量特別好，宏觀幾何形狀誤差和表面波
紋度小，均勻性好，表面微觀缺陷很少，表面起伏小，包括的峰谷數(shù)量
少，這樣當(dāng)掃描尺寸增加而表面的峰谷沒有增加或增加很少時，表面信
息被平均分配，所以測量值變小。當(dāng)表面包含有宏觀幾何形狀誤差時，
用AFM測量，掃描尺寸不足以包括多個宏觀幾何形狀誤差，所以對測量
值沒有多大影響；而在用RSTPlus干涉顯微鏡測量時，由于掃描范圍很
大納米機械加工表面形貌測量技術(shù)發(fā)展
通過上述研究與分析可知，常用的超精密表面3種測量方法與儀器
各具優(yōu)勢，通過對3種代表性儀器的測量原理、性能、誤差影響因素及
適用范圍做全面分析比較總結(jié)后發(fā)現(xiàn)：一般的觸針式輪廓儀由于分辨率
不高，易劃傷表面，不能滿足超光滑表面的測量要求；干涉顯微鏡是目
前常用的超光滑表面測量儀器，有縱向分辨率高、測量速度快、數(shù)據(jù)采
集與處理快、可以直接得到表面形貌圖以及儀器商業(yè)化成熟等一系列優(yōu)
勢，但受物鏡數(shù)值孔徑的限制，橫向分辨率比原子力顯微鏡低，不能探
測到波長較小的形貌；以原子力顯微鏡及掃描隧道顯微鏡為代表的掃描
探針顯微鏡技術(shù)具有分辨率高，不受測量過程影響的優(yōu)點，且已有成型
商品可供選用，是目前很佳的表面形貌測量技術(shù)。STM和AFM正在成為超
光滑表面形貌檢測的重要工具，也是研究超精密加工機理的重要手段。
利用AFM進行超精密加工表面形貌的測量時，需要根據(jù)表面質(zhì)量檢測理
論確定表面微觀形貌的檢測條件，如測量范圍、取樣長度、掃描方向、
采樣間距、一維檢測（線測量）還是二維檢測（面測量）等。
除了正確地選擇測量儀器及測量參數(shù)之外，利用傳統(tǒng)表面微觀輪廓
評價參數(shù)如Ra表征表面質(zhì)量已經(jīng)不足以滿足納米機械加工表面表征要求
，所以應(yīng)利用其他參數(shù)理論進行納米機械加工表面形貌的表征
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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