標(biāo)題：電子顯微鏡激光反射光位置隨著微懸臂梁擺動(dòng)而產(chǎn)生變化
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2016-12-26 0:59:15
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正文:
電子顯微鏡激光反射光位置隨著微懸臂梁擺動(dòng)而產(chǎn)生變化
原子力顯微鏡工作原理
原子力顯微鏡的硬件包括三個(gè)主要的系統(tǒng)：力檢測系統(tǒng)、位置檢
測系統(tǒng)、反饋系統(tǒng)。
力檢測系統(tǒng)主要測量體系中原子與原子間的范德華作用力，但
也可通過不同模塊的選擇測量電荷力和磁力等長程力的作用，以獲
得待測樣品表面多方面的物理化學(xué)信息。在力檢測系統(tǒng)中使用探針
上的微懸臂梁來檢測針尖與樣品間各種短程和長程力的變化量。所
以原子力顯微鏡的探針具有不同的性質(zhì)和規(guī)格，比如長度，寬度，
針尖形狀及彈性系數(shù)。操作人員可以通過樣品的特性選擇不同的探
針以及操作模式，來獲得研究人員所感興趣的樣品表面信息。
原子力顯微鏡目前常用的方式是激光檢測，其中原子力顯微鏡
的探針由基座，微懸臂梁，針尖頭組成，微懸臂梁通常由一個(gè)100
～500微米長和約500nm～5微米的硅片或氮化硅片制成。對微弱力
極其敏感的微懸臂梁一端由基座固定，另一端上通過相關(guān)工藝?yán)?/div>
一個(gè)納米級(jí)別的微小針尖。在形貌成像的過程中，探針通過接觸或
者輕敲的模式與樣品接觸將一個(gè)微小針尖在逼近樣品后，由于針尖
尖端原子與樣品表面原子間存在微弱的排斥力作用，在掃描過程中
通過壓電陶瓷管的伸縮控制這個(gè)排斥力的恒定。
位置檢測系統(tǒng)是基于原子力顯微鏡的針尖與樣品相互作用之后
，使微懸臂梁因受力不同而擺動(dòng)，因此當(dāng)激光照射在微懸臂梁末端
時(shí)，激光反射光的位置也會(huì)隨著微懸臂梁的擺動(dòng)而產(chǎn)生變化，導(dǎo)致
激光光斑在四相檢測器上的光強(qiáng)產(chǎn)生偏移量的變化。位置檢測系統(tǒng)
在這個(gè)過程中實(shí)時(shí)記錄下在樣品表面光斑位置偏移量的變化并轉(zhuǎn)化
為電信號(hào)，以供原子力顯微鏡的控制器做反饋系統(tǒng)的處理。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
特別聲明：本文出自北京上光儀器有限公司-未經(jīng)允許請勿轉(zhuǎn)載，本文地址：http://www.bjsgyq.com/news/9279.html
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