表面粗度輪廓儀使用來做什么的？
表面粗度輪廓儀是用來量測物體的表面輪廓，
藉由表面輪廓可知所制作的樣品之粗糙度，判斷制造成
品之精度良莠。此機臺是利用鑽石所制作的尖頭探針去掃描物體表面，以得到表面輪廓的資訊。在
探針掃描的運動軌跡橫過物體表面，并利用一導(dǎo)體感測器記錄了針尖的垂直運動變化。經(jīng)由針尖運
動產(chǎn)生訊號，可以顯示待測物體的二維表面輪廓。

最大試片尺寸: 4”
最大掃描長度: 10mm
掃描速度: 2 m/s to 200 m/s
取樣頻率: 50, 100, or 200 Hz nominal
掃描深度解析度

At 1 Ǻ Resolution : ±6.5 μm
At 25 Ǻ Resolution : ±150 μm
At 155 Ǻ Resolution : ±1000 μm
6. 掃描長度解析度: 0.01 m (at 2 μm/s scan
speed)
7. 掃描方式: Moving stylus, stationary stage
8. 探針力量控制: 可調(diào)式
Range: 1.0~99.9 mg
Resolution: 0.1mg

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