雙面對焦原理的非接觸式厚度/高度/深度測定機
信息分類:金相文章
作者:yiyi發(fā)布
時間:2011-11-1 10:19:21
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非接觸雙面對焦厚度測定機
為雙面對焦原理的非接觸式厚度/高度/深度測定機，
主要應(yīng)用于微機電(MEMS)的懸膜及材料厚度量測／晶背研磨后的厚度量測／各種薄膜厚度量測。
THS系列的非接觸式厚度/高度/深度測定機， 採用焦點探測的方法， 搭配獨特的上、下鏡頭和精準的對焦指示器，有效的量測行程為10mm。
THS的光學系統(tǒng)操作非常簡單，使用者能輕鬆看著螢?zāi)痪湍茌p鬆測量。
THS 于Z 軸測量時不會因 待測物(sample) 上、下兩面的凹陷或凸起而造成測量的誤差
Z 軸光學輔助對焦符號，使操作人員有清楚準確的判斷依據(jù)，減少人為誤差大幅提昇精度。
採用上，下鏡頭的單點測量，不會因待測物(sample)彎曲而造成測量的誤差。
光學非接觸的測量方式不會造成待測物(sample)的刮傷或變形。
總和倍率由 50 倍至 2000倍( 上、下鏡頭須相同)。
THS為針對厚度測量所專門開發(fā)光學非接觸式測定機，特有的上、下鏡頭設(shè)計可分別觀察待測物 (sample) 的上、下兩面。
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