標(biāo)題：電子顯微鏡是500nm以下的精細(xì)的元件研究的重要工具
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作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2013-3-3 19:19:42
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正文:
電子顯微鏡對于500nm以下的精細(xì)的元件研究的重要工具
半導(dǎo)體制程
IC產(chǎn)業(yè)的根本是半導(dǎo)體技術(shù)，制程的好壞深深地影響中下游客戶。隨著消費(fèi)者的
需求，IC產(chǎn)業(yè)走向小而精，生產(chǎn)速度還要快。
雖然至今仍未到答原子等級的極限，但500nm以下的元件已經(jīng)令人夠頭疼了。
關(guān)于如何縮小元件尺度這個(gè)問題，
儘管如此，很多大學(xué)的半導(dǎo)體研究室一直試著找出解決之道。說明過程為何以及STM顯微鏡在哪些步驟中扮演重要角色。
大致來說，當(dāng)一片一片的矽晶圓被切割下來后，接著就是以摻雜或離子布置的方式使晶圓上鋪著一層又一層的氧化層或電洞／電子層，
這時(shí)候就要以蝕刻的方式畫電路。每畫一層電路時(shí)都要先用光阻覆蓋在晶圓上才可以用化學(xué)試劑。
這一步做完后就要清洗晶圓，以利其它步驟。有時(shí)當(dāng)某些步驟做錯(cuò)時(shí)也要用蝕刻的方法把剛才鋪的東
西拿掉。因?yàn)榛瘜W(xué)試劑一倒下去的話就用侵蝕大塊區(qū)域，如果想要蝕刻出較精細(xì)的元
件是不行的。
利用STM探針當(dāng)電極頭，把矽氫鍵打斷，以利矽與氧的結(jié)合。因?yàn)镾TM探針很細(xì)，所以可以刻出細(xì)微結(jié)構(gòu)的電路。他
們在那個(gè)時(shí)候已經(jīng)做到200nm，相信利用同樣的方法，可以刻出更小的結(jié)構(gòu)。
也許對于當(dāng)今追求45nm制程的半導(dǎo)體公司而言，STM仍然是他們最重要的工具之一啊。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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