標(biāo)題：檢測(cè)儀器常識(shí)-機(jī)械零件測(cè)量顯微鏡
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2013-6-6 0:54:40
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正文:
光感檢測(cè)系統(tǒng)近幾年來(lái)蓬勃發(fā)展，不論是傳統(tǒng)機(jī)械零件、微生物晶片、
光學(xué)元件或是晶圓被覆薄膜等的表面性狀(Surface Integrities)檢驗(yàn)，
它都能做出快速準(zhǔn)確的判斷，使得量測(cè)穩(wěn)定性及可靠性提高。
因光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)為非接觸式，可直接線上量測(cè)；不但省去傳統(tǒng)受測(cè)件拆
卸的繁瑣步驟、維持受測(cè)件的原本樣貌、
延長(zhǎng)檢測(cè)儀器的壽命，最重要的是其量測(cè)精度高。
而這些表面參數(shù)對(duì)散射的影響，仍需建立起一套量測(cè)機(jī)制來(lái)對(duì)它分析。本研究乃針對(duì)超密加工之模具模仁表面粗糙度，做光散射的效應(yīng)研究。
機(jī)械元件或某些電子元件之表面粗糙度是一個(gè)影響元件性能的參數(shù)，
就如雷射活性介質(zhì)之晶體、發(fā)光二極體量子井、太陽(yáng)能板之薄膜
層等，其表面粗糙度品質(zhì)嚴(yán)重影響其光學(xué)、電學(xué)或機(jī)械性質(zhì)。
而對(duì)于一個(gè)理想的反射面(Specular Reflection)或所謂的光學(xué)平滑面而
言，其表面的不平整尺寸是遠(yuǎn)小于所使用的光波長(zhǎng)，
當(dāng)表面不平整尺寸逐漸接近、甚至超越光波長(zhǎng)時(shí)，其散射效應(yīng)必然逐增加
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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