標(biāo)題：表面粗糙度的光學(xué)式非接觸測量光學(xué)分析顯微鏡
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2017-4-17 1:58:10
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正文:
在表面粗糙度的光學(xué)式非接觸測量中，光反射和散射等光學(xué)現(xiàn)
象的利用也非常有效。
在此測量中，兩組反射光光強的輸出比隨表面傾斜角分布偏
差的增大而增大，并與被測材料有關(guān)。與光反射式非接觸測量相類
似，光散射式非接觸測量是利用測量表面的散射光的角度分布進行
表面粗糙度的測量。而激光光譜式非接觸測量則是利用測量表面的
反射光的光譜分析進行表面粗糙度的測量。
在非接觸測量中，除了利用光學(xué)現(xiàn)象外，利用微被也能達到
同樣的效果。與光學(xué)式非接觸原理一樣，微波式非接觸測量是利用
微波輻射到測量表面，并通過檢測反射微波的強度來計算表面粗糙
度的。為微波式非接觸測量系統(tǒng)，通過改變頻率來對反射波進行檢
測，可用于車削、銑削和磨削表面粗糙度的測量，當(dāng)粗糙度變高時
，傳感器的輸出減小。
除了上述的接觸式和非接觸式直接測量外，表面粗糙度還可通
過切削力等過程變量的檢測進行間接推測。表面粗糙度與表面凸凹
的高度和斜度有關(guān)，其中斜度變化對粗糙度的影響更大。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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